金融界2025年1月31日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司请求一项名为“承载设备以及半导体加工设备”的专利，公开号 CN 119381287 A，请求日期为 2023 年 7月。

  专利摘要显现，本发明供给一种承载设备以及半导体加工设备，承载设备包含固定部件以及设置于固定部件上方的可旋转的旋动部件，固定部件包含榜首连接面，旋动部件包含用于承载晶圆的承载面，和违背承载面的第二连接面，榜首连接面与第二连接面贴合设置；固定部件包含固定主体和设置于固定主体中的用于供冷却液体活动的冷却通道，冷却通道经过固定主体与旋动部件的热交换来冷却旋动部件。凭借本发明供给的承载设备，可以使晶圆在工艺流程中进行旋转的一起，简化了密封结构，提高了密封的作用并可以有很大作用防备冷却液体产生走漏。

  天眼查资料显现，北京北方华创微电子配备有限公司，成立于2001年，坐落北京市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册本钱114153.708311万人民币，实缴本钱114153.708311万人民币。经过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子配备有限公司共对外出资了8家企业，参加招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还具有行政许可339个。

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